SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

A substrate processing apparatus capable of processing a thin film to have improved quality through uniform exhaustion includes: a substrate supporting unit; a processing unit on the substrate supporting unit; an exhaust unit connected to a reaction space between the substrate supporting unit and th...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Jeong, WonKi, Lee, ChangMin
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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