LASER PROCESSING APPARATUS

A laser processing apparatus includes a chuck table for holding a workpiece, a laser beam applying unit for applying a pulsed laser beam to the workpiece held by the chuck table while positioning spots of the pulsed laser beam on the workpiece, thereby processing the workpiece with the pulsed laser...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: MORIKAZU, Hiroshi
Format: Patent
Sprache:eng
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