PIEZOELECTRIC ACTUATOR AND FLUID CONTROL VALVE

In order to provide a piezoelectric actuator and a fluid control valve that can vaporize a liquid material more effectively than a conventional arrangement, the piezoelectric actuator comprises a piezoelectric stack wherein a piezoelectric ceramic layer and an electrode layer are alternately laminat...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Yasuda, Tadahiro, Hayashi, Shigeyuki
Format: Patent
Sprache:eng
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