TRANSISTOR HAVING HIGH ELECTRON MOBILITY

A method for manufacturing a transistor having high electron mobility, encompassing a substrate having a heterostructure, in particular an AlGaN/GaN heterostructure, having the steps of: generation of a gate electrode by patterning a semiconductor layer that is applied onto the heterostructure, the...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Jauss, Simon, Schwaiger, Stephan, Grieb, Michael
Format: Patent
Sprache:eng
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