A Production Process for Silicon Carbide

Inside a furnace body with a vacuum environment or under the inert gas protection, the raw silicon material used to produce silicon carbide is melted or vaporized in a high temperature environment over 1300° C., and then the melted or vaporized raw silicon material will react with the carbonaceous g...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Hoshino Masahiro, Zhang Lenian
Format: Patent
Sprache:eng
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