n-AlGaN THIN FILM AND ULTRAVIOLET LIGHT EMITTING DEVICE INCLUDING THE SAME
An n-type aluminum gallium nitride (AlGaN) thin film and an ultraviolet light emitting device including the same. The ultraviolet light emitting device includes: an aluminum nitride (AlN) buffer layer on a substrate; and an n-type AlGaN layer, an active layer, a p-type AlGaN layer that are sequentia...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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