MASKLESS PROCESSING APPARATUS

Disclosed herein is a maskless processing apparatus including: an illumination optical system providing light illuminated to a substrate; a spatial light modulator (SLM) including a plurality of light conversion devices and controlling corresponding light conversion devices to selectively reflect or...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: NA GI LYONG
Format: Patent
Sprache:eng
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