Microactuator,head gimbal assembly, and magnetic disk drive

Embodiments of the present invention help to suppress reduction of the operation quantity of a microactuator. According to one embodiment, a microactuator comprises a silicon substrate and a piezoelectric element. The silicon substrate has some rigidity and provides elastic counter force to the piez...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: TAKAHASHI HARUHIDE, HIRANO TOSHIKI
Format: Patent
Sprache:eng
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