Chuck with integrated wafer support

An improved chuck with lift pins within a probe station.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	FROEMKE BRAD, ANDREWS PETER, DUNKLEE JOHN
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	An improved chuck with lift pins within a probe station.