Device for deflecting optical beams
The invention relates to a device for the deflection of optical beams (25), provided with a piezo-plate (14), which has piezoelectric regions (15, 16), controlled by piezo electrodes (20, 21). At least one end section (22) of the piezo plate (14) is free of piezo electrodes (20, 31), whereby said fr...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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