Piezoelectric micromachined transducer and device

An ultrasonic transducer device comprises a piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT), a transmitter with first and second differential outputs, and a controller. The PMUT includes a membrane layer. A bottom electrode layer, comprising a first bottom electrode and a second bottom elec...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Goericke, Fabian T, Przybyla, Richard J, Eovino, Benjamin E
Format: Patent
Sprache:eng
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