Calibration of an electronics processing system

A first robot arm places a calibration object into a load lock that separates a factory interface from a transfer chamber using a first taught position. A second robot arm retrieves the calibration object from the load lock using a second taught position. A controller determines, using a sensor, a f...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Bergantz, Nicholas Michael, Cox, Damon K, Berger, Alexander
Format: Patent
Sprache:eng
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