Electrically tunable surface acoustic wave resonator

A surface acoustic wave resonator device comprises a substrate supporting: a gateable, electrically conducting layer; an interdigital transducer (IDT); a reflector grating that comprises a plurality of electrically separated fingers; a main ohmic contact; and a gate element. The IDT is configured to...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Markmann, Sergej, von Salis, Gian R
Format: Patent
Sprache:eng
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