Methods for manufacturing a MOSFET

A MOSFET includes a semiconductor body having a first side, a drift region, a body region forming a first pn-junction with the drift region, a source region forming a second pn-junction with the body region, in a vertical cross-section, a dielectric structure on the first side and having an upper si...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Pippan, Manfred, Stegemann, Maik, Jantscher, Wolfgang, Riegler, Andreas
Format: Patent
Sprache:eng
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