SiC heater

This SiC heater includes a heating element having a thin plate-shaped silicon carbide sintered body and an insulating coat film formed on a surface of the silicon carbide sintered body, a pair of electrodes for conducting electricity in the heating element, and a heater base that holds the heating e...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Nagatomo, Hiroaki, Uchikawa, Yuki, Murakami, Yoshihiko
Format: Patent
Sprache:eng
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