Method for fabricating semiconductor device

A method for fabricating a semiconductor device includes stacking a first mold layer and a first supporter layer, forming a first supporter pattern by etching the first supporter layer to expose the first mold layer, forming an insulating layer to cover the exposed first mold layer and the first sup...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Kim, Keun Nam, Hwang, Yoo Sang, Kim, Hui-Jung
Format: Patent
Sprache:eng
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