Optical inspection apparatus

An optical inspection apparatus includes an imaging optical system facing an inspection target, a light guide, a plurality of light sources, and a plurality of mirror surfaces. The light guide has a plurality of corner portions and extending along an optical axis of the imaging optical system. The p...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Kamikawa, Takahiro, Hato, Takehiro, Ohno, Hiroshi
Format: Patent
Sprache:eng
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