Semiconductor structure with strain reduction

A transistor module includes a substrate; a transistor on the substrate; a dielectric layer disposed over the transistor and the substrate; a metal layer disposed over the dielectric layer and the transistor, the metal layer contacting a portion of the transistor; a metal pillar disposed over the me...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Dixon, Forest, Snodgrass, William, Dungan, Thomas Edward, Abrokwah, Jonathan Kwadwo
Format: Patent
Sprache:eng
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