Elastic device
An elastic device may comprise an amorphous metal comprising at least one refractory metal, at least two elements selected from periods, 4, 5, 6, 9, and 10, and at least one metalloid. A membrane may comprise a layer of silicon dioxide and a layer of amorphous metal. A MEMS device may comprise a lay...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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