Inspecting a wafer using image and design information

A method for inspecting a group of dies of a wafer, wherein the wafer comprises a group of wafer segments, wherein each wafer segment comprises a die of the group of dies, a molded material that surrounds the die and redistribution layer (RDL) conductors that are coupled to the die and are positione...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Regensburger, Menachem, Postolov, Yuri
Format: Patent
Sprache:eng
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