METHOD FOR PRODUCING FILMS of garnet ferrite CONTAINING Bi, with a given surface roughness

A method for producing films of garnet ferrite containing Bi with a given surface roughness includes a target producing which contains garnet ferrite components comprising Bi, the target components spraying on substrate from a nonmagnetic garnet, annealing the produced film at a temperature of crystallization of garnet ferrite in air at atmospheric pressure. In addition, the heating rate of the film to the crystallization temperature of the ferrite-garnet is set between 2 and 40 °C/min. Способ получения пленок феррит-граната, содержащих Bi, с заданной шероховатостью поверхности включает изготовление мишени, содержащий компоненты феррит-граната, содержащего Bi, распыление компонентов мишени на подложку из немагнитного граната, отжиг полученной пленки при температуре кристаллизации феррит-граната на воздухе при атмосферном давлении. Кроме этого, скорость нагрева пленки до температуры кристаллизации феррит-граната устанавливают от 2 до 40 °C/мин. Спосіб отримання плівок ферит-гранату, що містить Ві, із заданою шорсткістю поверхні включає виготовлення мішені, що містить компоненти ферит-гранату, що містить Ві, розпилення компонентів мішені на підкладку з немагнітного гранату, відпалювання отриманої плівки при температурі кристалізації ферит-гранату на повітрі при атмосферному тиску. Крім цього, швидкість нагрівання плівки до температури кристалізації ферит-гранату встановлюють від 2 до /хв.