DEVICE FOR CONTROL OF PRODUCTIVITY OF NANOELECTRONIC STRUCTURE FORMATION

A device for control of productivity of nanoelectronic structure formation comprises a parameter control unit, which input is an input of the device and an output is connected to an input of probe scanning unit. An output of probe scanning unit is connected to an input of probe deviation registration, which input-output is connected to the input-output of parameter control unit. The device contains a control unit of the probe scanning, which input-output is connected to the probe scanning unit input. The second output of control unit of probe scanning is the device output. Устройство управления производительностью формирования наноэлектронных структур содержит блок управления параметрами, вход которого является входом устройства, а выход которого соединен с входом блока сканирования зонда, выход блока сканирования зонда соединен с входом блока регистрации отклонений зонда, вход-выход блока регистрации отклонений зонда связан с входом-выходом блока управления параметрами. Устройство содержит блок управления сканированием зонда, вход-выход которого связан с входом-выходом блока управления параметрами, а выход соединен с входом блока сканирования зонда. Второй выход блока управления сканированием зонда является выходом устройства. Пристрій керування продуктивністю формування наноелектронних структур містить блок керування параметрами, вхід якого є входом пристрою, а вихід якого зв'язаний з входом блока сканування зонда, вихід блока сканування зонда з'єднаний з входом блока реєстрації відхилень зонда, вхід-вихід блока реєстрації відхилень зонда зв'язаний з входом-виходом блока керування параметрами. Пристрій містить блок керування скануванням зонда, вхід-вихід якого зв'язаний з входом-виходом блока керування параметрами, а вихід з'єднаний з входом блока сканування зонда. Другий вихід блока керування скануванням зонда є виходом пристрою.