TWI766981B

A coating treatment device (10) comprises: substrate movement units (12, 13) that hold a substrate and move the substrate in the horizontal direction; an oblong coating nozzle (14) that extends in a direction orthogonal to the direction of movement of the substrate movement units, and discharges a c...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: IKEMOTO, DAISUKE
Format: Patent
Sprache:chi
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!