Drehratensensor und verfahren zum betrieb eines drehratensensors
A rotation rate sensor includes a substrate having a main extension plane and a Coriolis element, in which the rotation rate sensor is configured so that the Coriolis element is excitable with the aid of an excitation arrangement to carry out an excitation oscillation along a first direction and in...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
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