TWI674250B

An oxide sintered body has metal elements of In, Ga, Zn, and Sn and contains Ga2In6Sn2O16, ZnGa2O4, and InGaZnO4. The contents of In, Ga, Zn, and Sn in the oxide sintered body satisfy the relations [Ga]≥37 atomic %, [Sn]≤15 atomic %, and [Ga]/([In]+[Zn])≥0.7, where [In], [Ga], [Zn], and [Sn] represe...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: NISHIYAMA, KOHEI, TAO, YUKI
Format: Patent
Sprache:chi
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