TWI659937B

The present invention provides a glass composition that allows holes with a circular contour and a smooth inner wall to be formed by a collective micro-hole-forming process using a combination of modified portion formation by ultraviolet laser irradiation and etching, the glass composition being ada...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: INOUE, TERUHIDE, KURACHI, JUNJI
Format: Patent
Sprache:chi
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