Process for preparing hydridosilanes

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	WIEBER, STEPHAN, ZOELLNER, JOERG, KNIPPENBERG, UDO, SCHWAERTZKE, THORSTEN, HAUBROCK, JENS, BRAUSCH, NICOLE
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
Schlagworte:	CHEMISTRY COMPOUNDS THEREOF INORGANIC CHEMISTRY METALLURGY NON-METALLIC ELEMENTS
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