RULO KAPLAMA TEKNİĞİ İLE SAYDAM İLETKEN OKSİT FİLM ÜRETİM YÖNTEMİ

Buluş, elektronik aygıt teknolojisinin temelini oluşturan saydam iletken oksit ince filmlerin (F), yüksek geçirgenlikte ve yüksek elektrik iletkenlikte, vakum sistemlerine ihtiyaç duyulmadan, atmosferik basınçta, gerektiği zaman büyük alanlara sahip yüzeyler üzerinde oluşturulmasına imkân sağlayan r...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: FERHAT, ASLAN, İBRAHİM, BOZ, REFİKA, BUDAKOĞLU
Format: Patent
Sprache:tur
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:Buluş, elektronik aygıt teknolojisinin temelini oluşturan saydam iletken oksit ince filmlerin (F), yüksek geçirgenlikte ve yüksek elektrik iletkenlikte, vakum sistemlerine ihtiyaç duyulmadan, atmosferik basınçta, gerektiği zaman büyük alanlara sahip yüzeyler üzerinde oluşturulmasına imkân sağlayan rulo (R) kaplama tekniği ile saydam iletken oksit film üretim yöntemi (100) ile ilgilidir.