INTERFEROMETER FOR CHECKING OBJECT SURFACE LINEARITY AND PLANARITY

FIELD: measuring devices. SUBSTANCE: interferometer has monochromatic light source, telescopic system that functions to extend light beam and incorporates microlens, beam splitter, collimator lens, and beam-splitting grating, planar reflecting grating spaced from beam-splitting one at distance exceeding size of checked object surface, as well as recording device. Collimator lens and beam-splitting grating are built as a single concave reflecting diffraction grating whose optical axis and that of flat reflecting grating are set at an angle equal to diffraction angle of concave reflecting grating. Ratio of dash rate of concave reflecting grating to that of planar reflecting grating is 1: 8. EFFECT: improved checking accuracy, simplified design, reduced size. 1. Интерферометр для контроля прямолинейности и плоскостности поверхности объекта, содержащий источник монохроматического света, телескопическую систему, расширяющую световой пучок и включающую микрообъектив, светоделитель, коллиматорный объектив и светоделительную дифракционную решетку, плоскую отражательную дифракционную решетку, отстоящую от светоделительной дифракционной решетки на расстоянии, превышающем размер контролируемой поверхности объекта, и регистрирующее устройство, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, упрощения конструкции и уменьшения габаритов, коллиматорный объектив и светоделительная дифракционная решетка выполнены в виде одной вогнутой отражательной дифракционной решетки, оптическая ось которой составляет с оптической осью плоской отражательной дифракционной решетки угол, равный углу дифракции вогнутой отражательной дифракционной решетки.2. Интерферометр по п.1, отличающийся тем, что отношение частоты штрихов вогнутой отражательной дифракционной решетки к частоте штрихов плоской отражательной дифракционной решетки равно 1 : 8.