OPTICAL TV SYSTEM FOR MASK FLAW DETECTION

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	NIKITINA MAJYA A,SU, LIKARPENKOV VALERIJ G,SU, DULEEV VSEVOLOD V,SU, ASTRATOV OLEG S,SU, VOROBEV LEONID V,SU, MOLCHANOV YURIJ A,SU, RUKOVCHUK VLADIMIR P,SU, VOLKHONSKIJ VIKTOR I,SU
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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