METHOD FOR PRODUCING ION BEAM

FIELD: ion-beam technology. SUBSTANCE: for ionizing working medium, use is made of plasma-beam discharge in crossed electric and magnetic fields with radial volume ion current. Radial current exceeds critical value of electron current associated with ion-sound instability occurring in plasma and strength of magnetic field. Discharge of this type generates fully ionized plasma with nonuniform density profile in direction perpendicular to magnetic field and uniform density in longitudinal direction. Ions are extracted in direction perpendicular to vector of longitudinal magnetic field flux density through emission hole provided in discharge chamber. EFFECT: 2-5 times increased ion current density, 3-5 times improved monochromaticity of ion beam, 30-50% reduced cost of power required to produce ion beam. 1 dwg Использование: ионно-пучковая технология. Сущность изобретения: для ионизации рабочего вещества используется пучково-плазменный разряд в скрещенных электрическом и магнитном полях с объемным радиальным ионным током. Величина радиального тока превышает критическое значение электронного тока, связанное с возникновением в плазме ионно-звуковой неустойчивости и величиной магнитного поля, обеспечивающей незамагниченность ионов. Разряд данного типа генерирует полностью ионизированную плазму с неоднородным профилем плотности в направлении, перпендикулярном магнитному полю, и однородной плотностью в продольном направлении. Извлечение ионов осуществляют в направлении, перпендикулярном вектору индукции продольного магнитного поля, через эмиссионное отверстие, выполненное в разрядной камере. Изобретение позволяет увеличить плотность ионного тока в 2 - 5 раз, повысить монохроматичность пучка ионов, увеличить ресурс разрядной камеры в 3 - 5 раз и снизить энергетическую цену иона пучка на 30 - 50%. 1 ил.