ELECTROCHEMICAL METHOD OF TEST FOR POROSITY OF THERMALLY GROWN SILICON DIOXIDE FILMS ON SILICON

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	TYAGUSHEVA ELENA G,SU, SHAPOVALOV VITALIJ P,SU, ZAVADOVSKIJ STANISLAV E,SU, YASINSKIJ YULIK A,SU, GORBAN ALEKSANDR N,SU
Format:	Patent
Sprache:	eng ; rus
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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