DEVICE FOR REMOVING IMPURITY IONS FROM SURFACE OF SEMICONDUCTING STRUCTURE

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	MIKERTUMYANTS A.R.,SU, ZHURAVLEV B.B.,SU, SEVERTSEV V.N.,SU, SAZONOV YU.P.,SU
Format:	Patent
Sprache:	eng ; rus
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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