ION SOURCE

FIELD: radiation physics. SUBSTANCE: ion source uses cylindrical coaxially extending anode, firing electrode, cathode holder, cathode made of concentric rings of working material snugging against one another, insulator electrically separating the cathode and fitting electrode, power supply of the main discharge with controllable pulse duration that is connected between the cathode external ring and anode. The firing electrode with insulator is installed in the center of the cathode. In the process of discharge arcing the cathode spot formed on the ring nearest to the firing electrode shifts towards the external ring, which results in a successive forming of plasma from different materials. EFFECT: simplified design. 1 dwg Изобретение относится к разработке источников ионов и может найти применение в радиационной физике, для модификации физико-химических свойств металлов и сплавов, диэлектриков и полупроводников методом ионной имплантации. Цель изобретения - упрощение устройства. Источник ионов содержит цилиндрические коаксиально расположенные анод, поджигающий электрод, катододержатель, катод, выполненный из плотно прилегающих друг к другу концентрических колец из рабочих материалов, изолятор, электрически разделяющий катод и поджигающий электрод, источник питания основного разряда с регулируемой длительностью импульса, включенный между внешним кольцом катода и анодом. Поджигающий электрод с изолятором установлен в центре катода. В процессе горения дугового разряда катодное пятно, сформированное на ближайшем к поджигающему электроду кольце, смещается в сторону внешнего кольца, что приводит к последовательному формированию плазмы из различных материалов. 1 ил.