Lågdopat kiselkarbidsubstrat och användning därav i högspänningskomponenter
A method for manufacturing a silicon carbide single crystal. A silicon carbide single crystal is grown. The crystal has a boron concentration less than 5×1014 cm−3, and a concentration of transition metals impurities less than 5×1014 cm−3. Intrinsic defects in the crystal are minimised. The intrinsi...
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Format: | Patent |
Sprache: | swe |
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