METHOD OF OBTAINING INTERMETALLIC ANTI-EMISSIVE COATING

FIELD: technological processes.SUBSTANCE: method of obtaining anti-emissive intermetallic coatingPtZr on the net-shaped electrodes of powerful generator lamps includes formation of carbide layers of mesh electrode material on heat-resistant substrate, zirconium and silicon carbide zirconium, platinum surface layer and subsequent annealing of net-shaped electrode with applied combined coverage. Zirconium carbide layer is received by layer deposition of plasma flow generated when spraying zirconium cathode by vacuum arc discharge when filing the vapours of benzene, nanolayers of zirconium, zirconium carbide of variable composition and zirconium carbide with excess content of carbon phase and subsequent annealing in vacuum. Benzene vapours are fed with a spill in one pulse, providing a change in pressure from 3.3⋅10Pa to 8.7⋅10Pa.EFFECT: obtaining a defect-free coating and increasing the operational properties of the produced instruments.3 dwg, 1 ex Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано для формирования интерметаллического антиэмиссионного покрытия на сеточных электродах мощных генераторных ламп. Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия PtZr на сеточных электродах мощных генераторных ламп включает формирование на тугоплавкой подложке слоев карбида материала сеточного электрода, циркония и карбида циркония, поверхностного слоя платины и последующий отжиг сеточного электрода с нанесенным комбинированным покрытием. Слой карбида циркония получают послойным осаждением из плазменного потока, формируемого при распылении циркониевого катода посредством вакуумно-дугового разряда, при подаче паров бензола, нанослоев циркония, карбида циркония переменного состава и карбида циркония с избыточным содержанием углеродной фазы, и последующим отжигом в вакууме. Пары бензола подают с помощью натекателя за один импульс, обеспечивающий изменение давления от 3.3⋅10Па до 8.7⋅10Па. Обеспечивается получение бездефектного покрытия и, как следствие, повышение эксплуатационных свойств выпускаемых приборов. 3 ил., 1 пр.