METHOD OF MANUFACTURING OF INTEGRATED MICROLENSES

FIELD: physics.SUBSTANCE: one side of the glass substrate is applied a masking layer of aluminium with round holes, and the other - a solid aluminium coating with side lengths smaller than the lengths of the sides of the glass substrate, retreating no less than 5 mm from each edge of the glass substrate, and then electrostimulated migration of ions from the molten salt through holes in the masking layer is performed.EFFECT: creation of microlenses of a larger diameter , which will provide a large focal length and aperture.1 tbl, 4 dwg Изобретение относится к интегральной оптике, а именно к способам обработки стекла, что позволит при применении таких стёкол улучшить качество датчиков волнового фронта и получить объемное изображение в трехмерных стереоскопических системах. Технический результат изобретения - создание микролинз большего диаметра, что обеспечит большие фокусное расстояние и светосилу. На одну сторону стеклянной подложки наносят маскирующий слой из алюминия с отверстиями круглой формы, а на другую - сплошное алюминиевое покрытие с длинами сторон, меньшими, чем длины сторон стеклянной подложки, отступив не менее чем на 5 мм от каждого края стеклянной подложки, а затем осуществляют электростимулированную миграцию ионов из расплава солей через отверстия в маскирующем слое. 1 табл., 4 ил.