METHOD OF PRODUCING MONOCRYSTALLINE SiC

FIELD: chemistry.SUBSTANCE: method includes sublimation of a SiC source placed in a crucible onto a seed SiC single-crystal plate placed on a flat ring support, and one or more layers are applied to the seed SiC single-crystal plate from the side not intended for growth of the SiC single-crystal ing...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Tairov Yurij Mikhajlovich, Lebedev Andrej Olegovich, Avrov Dmitrij Dmitrievich, Luchinin Viktor Viktorovich
Format: Patent
Sprache:eng ; rus
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