METHOD OF PRODUCING MONOCRYSTALLINE SiC
FIELD: chemistry.SUBSTANCE: method includes sublimation of a SiC source placed in a crucible onto a seed SiC single-crystal plate placed on a flat ring support, and one or more layers are applied to the seed SiC single-crystal plate from the side not intended for growth of the SiC single-crystal ing...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; rus |
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