PRODUCTION METHOD FOR NANOWIRE CATALYST

FIELD: nanotechnologies.SUBSTANCE: auxiliary layer, in which groove rows are formed of nanometer depth with vertical walls, is applied to a supporter; the layer of a catalyst material of nanometer thickness, on the top of which a photoresist mask with a pattern of narrow strips located aslant the grooves is formed, is applied; the layer of the catalyst material is removed by means of anisotropic etching up to the auxiliary layer retaining it on the side walls of the grooves and under the mask. The mask is removed. Supporters with nanowires are orderly allocated in a reactor.EFFECT: increasing of end product output, consumption reducing of expensive catalyst material, and reducing of gas-dynamic resistance of the reactor.4 cl, 1 dwg Изобретение относится к нанотехнологии, может быть использовано в химической промышленности для создания эффективных катализаторов. Заключается в том, что на подложку наносят вспомогательный слой, в котором формируют ряды канавок нанометровой глубины с вертикальными стенками, наносят слой каталитического материала нанометровой толщины, поверх которого формируют маску из фоторезиста с рисунком узких полосок, расположенных поперек канавок, анизотропным травлением удаляют слой каталитического материала до вспомогательного слоя, оставляя его на боковых стенках канавок и под маской, маску удаляют. Подложки с нанопроволоками упорядоченно располагают в реакторе. Технический результат заключается в повышении выхода конечного продукта, уменьшении расхода дорогого каталитического материала и снижении газодинамического сопротивления реактора. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.