GLASS WITH OPTICALLY TRANSPARENT PROTECTIVE COATING AND METHOD OF ITS PRODUCTION
FIELD: optical system; manufacturing technology.SUBSTANCE: invention relates to glass with optically transparent coating and method of its production and can be used in production of optical elements of spacecraft. Glass with optically transparent protective coating has substrate of optically transp...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , , , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; rus |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | FIELD: optical system; manufacturing technology.SUBSTANCE: invention relates to glass with optically transparent coating and method of its production and can be used in production of optical elements of spacecraft. Glass with optically transparent protective coating has substrate of optically transparent glass and applied on substrate two-layer transparent coating. Coating consists of two layers, lower layer is nano-metal with thickness from 20 to 40 nm, upper ceramic layer is made of aluminium nitride and silicon nitride with thickness from 5 to 15 mcm with nanocrystalline or amorphous nano-crystalline or amorphous structure. Method consists of three stages: 1) bombardment of substrate surface with pulse-periodic high-energy beams of ions of coating lower layer metal, 2) unipolar pulse magnetron deposition of lower nanocrystalline metal layer, 3) bipolar pulse magnetron deposition of upper double-phase ceramic layer, carried out in single vacuum cycle.EFFECT: technical result consists in production of glass with high resistance to impact effect of high-speed solid particles.11 cl, 8 dwg, 3 ex, 2 tbl
Изобретение относится к стеклу с оптически прозрачным покрытием и способу его изготовления и может быть использовано при изготовлении оптических элементов космических аппаратов. Стекло с оптически прозрачным защитным покрытием содержит подложку из оптически прозрачного стекла и нанесенное на подложку двухслойное прозрачное покрытие. Покрытие состоит из двух слоев, при этом нижний слой выполнен нанокристаллическим металлическим толщиной от 20 до 40 нм, а верхний керамический слой - из нитрида алюминия и нитрида кремния толщиной от 5 до 15 мкм с нанокристаллической, или аморфно- нанокристаллической, или аморфной структурой. Способ состоит из трех этапов: 1) бомбардировки поверхности подложки импульсно-периодическим высокоэнергетическим пучком ионов того же металла, из которого состоит нижний слой покрытия, 2) униполярного импульсного магнетронного осаждения нижнего нанокристаллического металлического слоя, 3) биполярного импульсного магнетронного осаждения верхнего двухфазного керамического слоя, проводимых в едином вакуумном цикле. Технический результат состоит в получении стекла, обладающего повышенной стойкостью против ударного воздействия высокоскоростных твердых микрочастиц. 2 н. и 9 з.п. ф-лы, 8 ил., 3 пр., 2 табл. |
---|