PRODUCTION OF LAMINAR MAGNETIC FILMS

FIELD: process engineering.SUBSTANCE: invention relates to production of laminar magnetic films and can be used for fabrication of media for data recording or in production of transducers. Claimed process comprises the ion-plasma deposition of at least two plies of one magnetic material and spacer arranged there between and made of magnetic material other than the first one. Note here that the main plies are produced from magnetically soft material in depth not exceeding that of supercritical state origination. Spacer material is selected by selection of magnetic materials. Absolute magnitude of the exchange interaction integral of said materials is lower than that of the main plies. Said materials are ranked by the decrease in said parameter, deposition of spacers is performed of materials with preset steps of measurement of coercive force H. Obtained magnitudes with preset coercive force Hfor magnetic materials are compared. Ranked materials selection step is decreased. Processes of deposition, measurement of coercive force Hand comparison with preset magnitude are reiterated. The deposition of said spacer is performed with material of coercive force Hcorresponding to preset magnitude.EFFECT: enhanced process efficiency, time saving.1 tbl, 3 dwg Изобретение относится к области изготовления многослойных магнитных пленочных материалов и может быть использовано в технологии получения сред для записи информации или при производстве датчиков. Способ получения многослойных магнитных пленок включает ионно-плазменное напыление, по крайней мере, двух основных слоев из одного и того же магнитного материала и прослойки между ними из магнитного материала, отличного от материала основных слоев, при этом основные слои напыляют из магнитомягкого материала толщиной, не превышающей толщину возникновения закритического состояния, а выбор материала прослойки осуществляют путем отбора магнитных материалов, абсолютная величина интеграла обменного взаимодействия у которых ниже, чем у материала основных слоев, ранжирования их по степени убывания по указанному параметру, выполнения напыления с прослойками из материалов с заданным шагом измерения коэрцитивной силы, H, сравнения полученных значений с заданным значением Hдля многослойной пленки, при этом при получении значений, отличных от заданного, шаг для выбора ранжированных материалов уменьшают и процесс напыления, измерения значений Hи сравнения с заданным значением повторяют, а напыление прослойки осуществляют из материала