METHOD OF INTERFERENCE MICROSCOPY

FIELD: measurement equipment.SUBSTANCE: investigated microobject is illuminated by incoherent radiation, which is used for generation of an increased image of a microobject in the front focal plane of the 4f optical system, the radiation is divided with the help of a beam splitter, from two identical Dove prisms, glued along the bases of prisms, and both beams are sent to one flat mirror. The beam, which passed via both Dove prisms, is sent via a pin hole. After reverse passage via the beam splitter both beams of radiation are sent to an angle reflector, and the initial interference image is recorded, and then the beam splitter and angle reflector are displaced many times along the direction, which is perpendicular to the bases of the prisms. At the same time the phase of interference images changes in respect to the initial one, and a set of interference images is recorded, by which, using the method of phase steps, they calculate 2D distribution of optical difference of radiation travel that passed via the microobject.EFFECT: reduced level of coherent noise, lower requirements to alignment of an interferometer, increased stability of measurement results, increased accuracy of measurements.3 cl, 6 dwg Изобретение относится к микроскопии и может быть использовано в биологии, медицине, машиностроении, оптическом приборостроении для исследования фазовых объектов. Технический результат - уменьшение уровня когерентных шумов, снижение требований к юстировке интерферометра, повышение стабильности результатов измерений, повышение точности измерений. Согласно способу интерференционной микроскопии исследуемый микрообъект освещают некогерентным излучением, которое используют для формирования увеличенного изображения микрообъекта в передней фокальной плоскости 4f оптической системы, делят излучение с помощью светоделителя из двух идентичных призм Дове, склеенных по основаниям призм, и направляют оба пучка на одно плоское зеркало. Пучок, который прошел через обе призмы Дове, пропускают через точечную диафрагму. После обратного прохода через светоделитель оба пучка излучения направляют на уголковый отражатель и регистрируют исходное интерференционное изображение, а затем многократно смещают светоделитель и уголковый отражатель вдоль направления, перпендикулярного основаниям призм. При этом изменяется фаза интерференционных изображений по отношению к исходному и регистрируется набор интерференционных изображений, по которому методом фазовых шагов вычисляют двумерное рас