METHOD OF TESTING SYSTEM OF METALLOGRAPHIC ANALYSIS BASED ON SCANNING PROBE MICROSCOPE

FIELD: nanotechnology.SUBSTANCE: invention relates to nanotechnologies and methods of carrying out metallographic analysis of samples and determining the three-dimensional topography of their surface and the structure using the atomic-force microscopy with the resolving power in the nanometre range. The method of testing the system of metallographic analysis using a scanning probe microscope (SPM) for the existing equipment in the field, using the model of the structural element of equipment chosen for the analysis. In this model of the structural element the opening is made, in which the model sample is mounted, made of metal, similar to the said structural element, the surface preparation is carried out using the field means and the analysis using the field SPM version. Then the results are compared with the results of the analysis of the same model sample obtained by laboratory method.EFFECT: increase in reliability of the results of metallographic analysis on the existing equipment.4 cl, 5 dwg Изобретение относится к нанотехнологиям и методам проведения металлографического анализа образцов и определения трехмерной топографии их поверхности и структуры с помощью атомно-силовой микроскопии при разрешающей способности в нанометровом диапазоне. Способ тестирования системы металлографического анализа с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) для действующего оборудования в полевых условиях, использующий макет выбранного для анализа конструкционного элемента оборудования. В указанном макете конструкционного элемента выполняют отверстие, в котором устанавливают макетный образец, изготовленный из металла, аналогичного указанному конструкционному элементу, проводят подготовку поверхности полевыми средствами и анализ с помощью полевого варианта СЗМ. Затем сравнивают результаты с результатами анализа этого же макетного образца, полученными лабораторным путем. Техническим результатом является повышение надежности результатов металлографического анализа на действующем оборудовании. 3 з.п. ф-лы, 5 ил.