METHOD OF PRODUCING CERAMIC CONDUCTOR, SYSTEM FOR PRODUCING SAME AND SUPERCONDUCTOR USING SAME

FIELD: physics.SUBSTANCE: invention relates to a ceramic conductor. In the disclosed method, a ceramic precursor film is deposited on a conductor substrate. The conductor substrate with the deposited ceramic precursor film is then heat treated. Heat treatment of the conductor substrate includes controlling temperature of the conductor substrate and/or oxygen partial pressure of the conductor substrate such that the ceramic precursor film is in a liquid state, and an epitaxial ceramic film forms from the liquid ceramic precursor film on the conductor substrate.EFFECT: fast production of a thick ceramic layer.21 cl, 13 dwg Изобретение относится к керамическому проводнику. В предложенном способе керамическую пленку-предшественник осаждают на подложку проводника. Затем подложку проводника, на которую осаждена керамическая пленка-предшественник, подвергают термообработке. Для термообработки подложки проводника температуру подложки проводника и/или парциальное давление кислорода подложки проводника регулируют таким образом, что керамическая пленка-предшественник находится в жидком состоянии; и из жидкой керамической пленки-предшественника на подложке проводника образуется эпитаксиальная керамическая пленка. Изобретение обеспечивает быстрое получение толстого керамического слоя. 3 н. и 18 з.п. ф-лы, 13 ил.