METHOD TO MANUFACTURE MULTI-TIP FIELD-EMISSION CATHODES

FIELD: electrical engineering.SUBSTANCE: in order to form a periodic circuit from micro-tips at surface of monolithic carbon substrate the method of grouped micro-tipping in low-temperature plasma of HF charge in oxygen or in mix of oxygen and inert gas media is used as micro/nano-sized treatment.EFFECT: increase of density for field-emission current due to formation of micro-tip carbon structure. Изобретение относится к технологии изготовления электронных приборов, в частности к технологии изготовления углеродных многоострийных автоэмиссионных катодов, используемых в вакуумных электронных приборах с эффективными холодными источниками электронов. Технический результат - увеличение плотности автоэмиссионного тока за счет образования периодической микроострийной углеродной структуры. Для образования периодической структуры из микроострий на поверхности монолитной углеродной подложки в качестве микро-, наноразмерной обработки используется способ группового микрозаострения в низкотемпературной плазме ВЧ-разряда в кислородной или в смеси кислородной и инертной газовых средах. 3 ил.