OPTICAL DEVICE, METHOD OF MAKING MASTER COPY USED IN MAKING OPTICAL DEVICE, AND PHOTOELECTRIC CONVERTER

FIELD: physics. ^ SUBSTANCE: optical device has a plurality of structures having elevated or depressed areas lying with short spacing equal to or shorter than the wavelength of visible light on the base surface. The structures form a plurality of rows in form of curved tracks on the base surface and form a quasi-hexagonal array configuration. The structure has the shape of an elliptic cone or a truncated elliptic cone, having a principle axis directed along the curved tracks. The method of making a master copy for use in making the optical device involves a first step for preparing a substrate with a resist coating on the surface; a second step for forming a latent image by periodic illumination of the resist coating to a laser beam while rotating the substrate and relative displacement of the laser beam in the radial direction with respect to rotation of the substrate; and a third step for forming a resist configuration on the surface of the substrate by developing the resist coating. ^ EFFECT: improved antireflection and packing density of the structures. ^ 21 cl, 58 dwg Оптическое устройство имеет множество структур с возвышенными или углубленными участками, расположенными с коротким шагом, равным или короче, чем длина волны видимого света, на поверхности основания. Структуры образуют множество рядов в виде дугообразных дорожек на поверхности основания и образуют конфигурацию квазишестиугольной решетки. Структура имеет форму эллиптического конуса или усеченного эллиптического конуса, имеющего главную ось в направлении вдоль дугообразных дорожек. Способ изготовления мастер-копии для использования при производстве оптического устройства включает первый этап, на котором готовят подложку со сформированным на поверхности слоем резиста; второй этап, на котором формируют скрытое изображение путем периодического облучения лазерным лучом слоя резиста при вращении подложки и относительном перемещении лазерного луча в радиальном направлении относительно вращения подложки; и третий этап, на котором формируют конфигурацию резиста на поверхности подложки посредством проявления слоя резиста. Технический результат - улучшение антиотражения и плотности упаковки структур. 3 н. и 18 з.п. ф-лы, 58 ил.