PROCEDURE FOR PRODUCTION OF HIGH PURITY MOLYBDENUM FOR SPUTTERING TARGET

FIELD: metallurgy. ^ SUBSTANCE: procedure consists in purification of solution of ammonia paramolybdate form impurities by ion exchange in neutral and sub-alkali mediums on hydrated oxide of tin and on sub-basic anionite AN-106. Further, ammonia paramolybdate is thermally decomposed at temperature 600-800C to production of molybdenum oxide and is refined by zone sublimation at temperature 750-800C in continuous flow of oxygen. Molybdenum oxide is heterogeneous reduced with hydrogen at temperature 700-750C till production of powder of molybdenum. Powder is compressed to a rod which is subjected to electronic vacuum zone re-crystallisation till production of high purity molybdenum crystal. Molybdenum crystals are melt in electron vacuum in a flat crystalliser with melt of flat ingot of high purity molybdenum on each side at total depth not less, than twice. A molybdenum rod is treated with chlorine prior to zone re-crystallisation at rate of chlorine supply 100 ml/min and temperature 300C during 1 hour. ^ EFFECT: great rise of molybdenum purity. ^ 1 ex Изобретение относится к способу получения высокочистого молибдена для распыляемых мишеней. Способ включает очистку раствора парамолибдата аммония от примесей ионным обменом в нейтральных и слабощелочных средах на гидратированном оксиде олова и на слабоосновном анионите АН-106. Затем ведут термическое разложение парамолибдата аммония при температуре 600-800°С до получения оксида молибдена и его очистку зонной сублимацией при температуре 750-800°С в постоянном потоке кислорода. После этого проводят гетерогенное восстановление оксида молибдена водородом при температуре 700-750°С до образования порошка молибдена, прессование порошка молибдена до получения прутка, электронную вакуумную зонную перекристаллизацию прутка молибдена до получения кристалла высокочистого молибдена и электронную вакуумную плавку кристаллов в плоском кристаллизаторе с проплавлением плоского слитка высокочистого молибдена с каждой стороны на всю глубину не менее двух раз. При этом перед зонной перекристаллизацией пруток молибдена обрабатывают хлором при скорости подачи 100 мл/мин при температуре 300°С в течение 1 часа. Техническим результатом является резкое повышение чистоты молибдена.