PASSIVE SENSOR ON SURFACE ACOUSTIC WAVES

FIELD: physics. ^ SUBSTANCE: sensor has on a substrate 1 made from piezoelectric material an interdigital transducer 2 and two structures of metallic reflectors 3 and 4 for surface acoustic waves (SAW). The first structure of reflectors is provided as a reference element and the second is a detecting element. SAW reflectors 3 of the first structure and SAW reflectors 4 of the second structure have different sensitivity to the measured quantity. The interdigital transducer 2 is unidirectional and is placed such that the direction of propagation of SAW from it is opposite the natural unidirectionality of the piezoelectric material of the substrate 1. The direction of SAW from the reflectors 3 and 4 coincides with the natural unidirectionality of the piezoelectric material of the substrate 1, where the anisotropy coefficient of the reflected SAW ëñ0. SAW reflectors 3 and 4 are symmetrical on the direction of propagation of SAW and are separated from each other by the minimum possible clearance 5 or are not separated. SAW reflectors 4 of the second structure are coated on the entire surface by a layer of material 6 which is sensitive to the measured quantity. ^ EFFECT: reduced measurement errors, high sensitivity of the sensor and range of reading from said sensor, simple design of the device, high manufacturability and reliability. ^ 4 dwg Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для дистанционного измерения физических величин. Технический результат: снижение погрешности измерений, повышение чувствительности датчика и дальности считывания от него, упрощение конструкции устройства, повышение технологичности его изготовления и надежности работы. Сущность: датчик содержит расположенные на подложке 1 из пьезоэлектрического материала встречно штыревой преобразователь (ВШП) 2 и две структуры металлических отражателей 3 и 4 для поверхностных акустических волн (ПАВ). Первая структура отражателей предусмотрена в качестве опорного элемента, вторая - в качестве чувствительного элемента. Отражатели 3 ПАВ первой структуры и отражатели 4 ПАВ второй структуры выполнены с различными чувствительностями к измеряемой величине. ВШП 2 выполнен однонаправленным и расположен так, что направление распространения ПАВ от него происходит против естественной однонаправленности пьезоэлектрического материала подложки 1. Направление ПАВ от отражателей 3 и 4 совпадает с естественной однонаправленностью пьезоэлектрического материала подложки 1, при кото