GAS SENSOR PARAMETRE IMPROVING METHOD

FIELD: instrument engineering. ^ SUBSTANCE: gas sensor parametre improving method consists in subsequent formation on insulating substrate of sensory layer based on stannic oxide, interdigital contacts to the film, heater, and contact areas to sensory layer and heater. After sensing element of the s...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: REMBEZA STANISLAV IVANOVICH, REMBEZA EKATERINA STANISLAVOVNA, RUSSKIKH DMITRIJ VIKTOROVICH
Format: Patent
Sprache:eng ; rus
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