METHOD FOR DIRECTED SPLITTING-OFF OF BLOCKS FROM MONOLITHIC OBJECTS

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: TLEUGALIEV MURAT N,SU, SINTSOV EVGENIJ A,SU, GRITSENKO VLADIMIR F,SU, ABRAMYAN ARNODIK M,SU, MANUCHAROV ARKADIJ M,SU
Format: Patent
Sprache:eng ; rus
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